1、气体产品的需求日益增长

21世纪以来，中国拥有快速发展的工业市场和日益增长的产品需求，已逐渐成为全球工业气体行业最活跃的市场之一，对于气体的需求量持续高速增长，给国内气体行业带来历史性的发展机遇。

2、特种气体品种不断丰富，气体企业对新产品研发日益重视

近年来，随着下游应用领域及新工艺路线的逐步扩展，市场对特种气体的品种和品质的要求随之提升。半导体领域晶圆尺寸从6寸、8寸发展到12寸乃至18寸，制程技术从28nm到14nm再到7nm；液晶面板从液晶显示器向柔性面板发展；光伏能源从单晶硅电池片、多晶硅电池片交互发展等。特种气体作为这些产业发展的关键性材料，伴随着下游产业技术的快速迭代，特种气体的精细化程度持续提高，对特种气体生产企业在气体纯度、混配精度等方面的技术要求都将持续提高。

3、电子特种气体的国产化趋势

电子特种气体品种短缺或纯度不足，使其下游产品生产存在瓶颈。经过多年发展，国内气体行业部分优质企业实现了产品质量稳定，应用于电子半导体下游生产。尽管与国际先进水平仍有差距，但实现了部分气体产品的自主生产。未来我国气体行业将通过持续摸索和创新，在气体品种和质量方面满足我国电子半导体企业的需求，逐步增加电子特种气体的国产化率，扩大我国电子气体生产企业的市场规模。

VPSA制氧机原理及技术指标
原理：低压吸附真空解吸，在低压条件下将空气中的氮气氧气吸入，吸附饱和后分子筛在真空的条件下解吸，将氮气从排放口排放，氧气进入提纯系统，分子筛不断的吸附解压从而循环制得纯度较高的氧气（90～95%）。与PSA相比VPSA能耗较低，制氧设备越大其能耗越低。
技术指标
◆产品规模：100-10000Nm3/h
◆氧气纯度：≥90-94%，可根据用户要求在30-95%范围内调整。
◆制氧电耗：氧纯度在90%时，折合为纯氧的电耗为0.32-0.37KWh/ Nm3
◆氧气压力：≤20kpa（可增压）
◆年开功率：≥99%
特点：
◆装置工艺流程简单
◆制氧规模10000m3/h以下，制氧电耗更低，投资更小；
◆土建工程量小，装置安装周期比深冷装置短；
◆装置运行和维护费用低；
◆装置运行自动化程度高，开停车方便快捷，操作人员少；
◆装置运行稳定性强，安全性高；
◆操作简单；
◆采用原装进口制氧分子筛，性能优越使用寿命长；
◆ 操作弹性强（转换速度快）