VPSA真空变压吸附制氧系统是由鼓风机、真空泵、温度调节系统、吸附系统、氧气罐、控制系统,氧气增压系统等设备组成的。VPSA制氧机的工艺流程具体如下：
1、空气鼓风机和真空泵
鼓风机为整个系统提供原料空气，根据真空变压吸附制氧设备的设计工况，结合用户的使用条件，选择排气压力为符合设计条件的鼓风机供气。
真空泵保证整个系统正常解析，使系统处于理想真空状态，使整体设备能连续吸氮产氧工作。
2、温度调节系统
空气温度调节系统由一台水冷却器和一台电加热器构成。 经鼓风机增压后的空气温度会升高，再经水冷却器将空气温度降到所需的工艺操作温度后， 送入吸附塔。当冬天温度较低时，可以通过电加热器加温到所需的工艺操作温度。
3、吸附系统
吸附系统由两只内装沸石分子筛吸附剂的吸附塔和管道阀门等组成。工艺空气从其中一只吸附塔底部进入，当流经吸附剂层时，空气中的氮气，二氧化碳，水蒸气等被吸附。氧气则通过吸附床层汇集到吸附塔顶部作为产品气输出。与此同时，另一只吸附塔处于再生工况，当进行吸附的吸附塔快达到吸附饱和前，在控制系统的干预下，工艺空气转而进到已完成再生的吸附塔开始吸附产氧。两只吸附塔如此交替轮流实现连续生产氧气的目的。
4、氧气缓冲罐
由于VPSA氧气输出不连续因而需要一台缓冲罐，对气流进行缓冲并连续输出氧气。
5、控制系统
（1）系统过程的实现可借助控制系统,系统中阀门切换由可编程序控制器单独控制。各种检测传感器的模拟量信号与主控制系统通过专用的通迅协议进行通讯，可将本机组的有关参数送至主控制系统和接受主控制系统的开机和停机等命令。
（2）为了保证用户的安全用气需要，可设置多种连锁、保护、报警、打印、记录等功能。
（3）系统对用户用气量的需求变化可通过调整系统运行参数达到节能的目的。
（4）良好的人机界面，可在控制平台上实现设备的开机、停机，并可实时采集运行参数。可实现远程监控和管理。