原理：低压吸附真空解吸，在低压条件下将空气中的氮气氧气吸入，吸附饱和后分子筛在真空的条件下解吸，将氮气从排放口排放，氧气进入提纯系统，分子筛不断的吸附解压从而循环制得纯度较高的氧气（90～95%）。与PSA相比VPSA能耗较低，制氧设备越大其能耗越低。

技术指标

◆产品规模：100-10000Nm3/h

◆氧气纯度：≥90-94%，可根据用户要求在30-95%范围内调整。

◆制氧电耗：氧纯度在90%时，折合为纯氧的电耗为0.32-0.37KWh/ Nm3

◆氧气压力：≤20kpa（可增压）

◆年开功率：≥99%

特点：

◆装置工艺流程简单

◆制氧规模10000m3/h以下，制氧电耗更低，投资更小；

◆土建工程量小，装置安装周期比深冷装置短；

◆装置运行和维护费用低；

◆装置运行自动化程度高，开停车方便快捷，操作人员少；

◆装置运行稳定性强，安全性高；

◆操作简单；

◆采用原装进口制氧分子筛，性能优越使用寿命长；

◆ 操作弹性强（转换速度快）
       ◆ 制氧设备，VPSA流程，制氧装置，制氧站，制氧机